每经AI速讯，3月18日，汉钟精机正在投资者互动平台回复称，公司的干式螺杆以及众级鲁式和旋片泵系列真空产物，已得到 SEMI 安闲基准验证证书，能餍足于分娩最前辈半导体系程工艺以及各样干净及厉苛制程段所需的高真空场景。目前与邦内的个别机台商、晶圆厂都有协作，但量还较少，对事迹影响不大。

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